Перчаточный ящик
Интегрированная система вакуумного напыления в перчаточном боксе для передового осаждения тонких пленок
Артикул : ST16
Цена может варьироваться в зависимости от спецификации и настройки
- Базовый уровень вакуума
- ≤ 5.0 × 10⁻⁴ Па
- Чистота атмосферы перчаточного бокса
- H2O < 1 ppm, O2 < 1 ppm
- Источники осаждения
- Термическое испарение и магнетронное распыление (DC/RF)
Доставка:
Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Почему выбирают нас
Простой процесс заказа, качественные продукты и специализированная поддержка для успеха вашего бизнеса.
Обзор продукта
Эта интегрированная система плавно объединяет камеру физического осаждения из паровой фазы (PVD) высокого вакуума с герметичной рабочей станцией в перчаточном боксе со сверхчистой инертной атмосферой. Платформа, специально разработанная для устранения рисков деградации под воздействием окружающей среды, позволяет операторам загружать подложки, напылять деликатные органические или неорганические тонкие пленки, переносить образцы с покрытием и выполнять критически важные этапы инкапсуляции и характеризации, не нарушая герметичность инертной среды. Поддерживая сверхчистую среду с уровнем кислорода и влаги менее 1 ppm на протяжении всего рабочего процесса, оборудование гарантирует исключительную чистоту границ раздела и превосходные характеристики устройств.
Это интегрированное решение, разработанное в первую очередь для передовых исследований в области энергетики и оптоэлектроники, играет важнейшую роль в производстве перовскитных солнечных элементов, органических светодиодов (OLED), полимерных светодиодов (PLED), полупроводниковых приборов и функциональных наноматериалов. Академические институты, промышленные научно-исследовательские лаборатории и пилотные производственные линии полагаются на эту архитектуру для обработки чувствительных к влаге и реакционноспособных на воздухе прекурсоров и органических активных слоев с абсолютной воспроизводимостью.
Установка, оснащенная камерами из нержавеющей стали промышленного класса, прецизионными узлами испарения с несколькими источниками, передовыми конфигурациями магнетронного распыления и высокоэффективными системами очистки газа с замкнутым контуром, обеспечивает стабильную работу в условиях интенсивных исследовательских графиков. Жесткое механическое соединение между вакуумной камерой и перчаточными портами бокса предотвращает вибрационные помехи, обеспечивая долгосрочную эксплуатационную целостность и надежную вакуумную герметичность для высокоэффективного синтеза тонких пленок.
Ключевые особенности
- Бесшовная интеграция с перчаточным боксом: Камера осаждения монтируется непосредственно на корпус перчаточного бокса через герметичный интерфейс передачи, что позволяет осуществлять прямую загрузку подложек, манипуляции после нанесения покрытия и инкапсуляцию в непрерывных инертных условиях без контакта с атмосферой.
- Сверхчистая очистка газа в замкнутом контуре: Встроенные колонны очистки непрерывно фильтруют атмосферу перчаточного бокса, поддерживая концентрацию H2O и O2 ниже 1 ppm, защищая чувствительные галогенидные перовскиты и органические слои переноса заряда от деградации под воздействием окружающей среды.
- Возможности многоисточникового термического осаждения: Оснащена независимо управляемыми источниками испарения с резистивным нагревом, экранирующими перегородками для предотвращения перекрестного загрязнения и прецизионными источниками питания для послойного или совместного испарения органических молекул, металлических электродов и солей-прекурсоров.
- Многофункциональный модуль магнетронного распыления: Конфигурируется со сбалансированными и несбалансированными DC/RF магнетронными головками для осаждения высокоплотных металлических пленок, прозрачных проводящих оксидов, диэлектрических барьеров, магнитных слоев и сложных полупроводниковых сплавов.
- Высоковакуумная насосная система: Высокопроизводительные турбомолекулярные насосные станции с поддержкой химически стойких сухих спиральных насосов быстро достигают глубокого базового вакуума, сокращая время цикла и предотвращая обратный поток масла и загрязнение подложки.
- Прецизионный кварцевый мониторинг толщины пленки: Встроенные многоканальные кварцевые микровесы (QCM) обеспечивают отслеживание скорости осаждения и толщины в реальном времени с суб-ангстремным разрешением, гарантируя точный стехиометрический контроль и равномерный профиль толщины.
- Вращение подложки и температурная обработка: Оснащена моторизованным вращением подложки для превосходной радиальной равномерности пленки на больших площадях образцов, в сочетании с программируемыми ступенями радиационного нагрева и охлаждения для настройки кинетики кристаллизации тонких пленок.
- Эргономичный шлюз и система передачи: Включает стандартные большие цилиндрические и малые шлюзы с автоматическими циклами откачки и наполнения для быстрой передачи подложек, химикатов и инструментов без нарушения равновесия в перчаточном боксе.
- Управление с сенсорного экрана на базе ПЛК: Централизованный программируемый логический контроллер с интуитивно понятным графическим интерфейсом управляет вакуумными циклами, регенерацией газа, регулировкой мощности источников и защитными блокировками для воспроизводимости процессов.
Приложения
| Приложение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Производство перовскитных солнечных элементов | Осаждение верхних металлических контактов (Au, Ag, Al), слоев переноса электронов/дырок и галогенидных прекурсоров непосредственно внутри инертной среды перчаточного бокса. | Устраняет фазовую деградацию, вызванную влагой, и образование точечных дефектов, обеспечивая высокий КПД и увеличенную стабильность работы. |
| Разработка OLED и PLED дисплеев | Испарение низкомолекулярных органических излучающих слоев, слоев инжекции заряда и катодных металлов с низкой работой выхода без контакта с воздухом. | Предотвращает окисление органического слоя и центры гашения, обеспечивая превосходную яркость, равномерный выход пикселей и увеличенный срок службы устройства. |
| НИОКР в области полупроводников и микроэлектроники | Синтез высокочистых металлических контактов, межсоединений, барьерных слоев и полупроводниковых тонких пленок на кремниевых, кварцевых и гибких подложках. | Обеспечивает атомарно гладкие границы раздела, минимальную плотность дефектов и точную стехиометрию пленки в условиях сверхчистого вакуума. |
| Функциональные диэлектрические и оптические покрытия | Распыление и термическое осаждение оптических интерференционных фильтров, антибликовых покрытий, пассивирующих оксидов и диэлектрических тонких пленок с высоким k. | Обеспечивает равномерный показатель преломления, жесткий допуск по толщине и низкие потери на рассеяние на подложках большой площади. |
| Производство передовых датчиков и преобразователей | Выращивание газочувствительных функциональных пленок, пьезоэлектрических тонких слоев, стеков магнитных датчиков и биосовместимых покрытий преобразователей. | Повышает отношение сигнал/шум и чувствительность преобразователя за счет сверхчистых границ раздела слоев и воспроизводимой микроструктурной морфологии. |
| Сверхпроводящие и магнитные тонкие пленки | Прецизионное распыление переходных металлов, редкоземельных сплавов и сверхпроводящих слоистых соединений в контролируемой технологической атмосфере. | Поддерживает четкие границы магнитных доменов и высокие критические температуры перехода без загрязнения атмосферными примесями. |
| Инкапсуляция и упаковка устройств | Нанесение барьерных покрытий, УФ-отверждаемых эпоксидных уплотнений и прикрепление защитного стекла непосредственно внутри перчаточного бокса после роста тонкой пленки. | Завершает производство устройства «от и до» в единой оболочке, предотвращая проникновение влаги перед окончательным внешним тестированием. |
Технические характеристики
| Параметр системы | Базовая спецификация ST16 | Конфигурация ST16 Advanced (распыление / со-испарение) |
|---|---|---|
| Базовый уровень вакуума | ≤ 5.0 × 10⁻⁴ Па (предварительная откачка камеры) | ≤ 8.0 × 10⁻⁵ Па (с прогревом) |
| Чистота атмосферы перчаточного бокса | H2O < 1 ppm, O2 < 1 ppm | H2O < 0.1 ppm, O2 < 0.1 ppm |
| Рабочая газовая среда бокса | Азот высокой чистоты (N2) / Аргон (Ar) | Аргон высокой чистоты (Ar) / Азот (N2) / Гелий (He) |
| Скорость утечки бокса | < 0.001 об%/ч | < 0.001 об%/ч |
| Материал конструкции камеры | Аустенитная нержавеющая сталь SUS304, электрополировка | Нержавеющая сталь SUS304 / SUS316L, зеркальная отделка высокого вакуума |
| Конфигурация источника осаждения | 4 × лодочки/тигли для термического резистивного испарения | 4–6 × термических источников + 2–3 × магнетронные пушки (DC/RF) |
| Размер держателя подложки | До 100 мм в диаметре (или индивидуальная многопластинчатая) | До 200 мм в диаметре (или индивидуальный матричный носитель) |
| Движение и вращение подложки | 0–30 об/мин, плавная регулировка | 0–50 об/мин, реверсивное с моторизованной регулировкой высоты |
| Диапазон нагрева подложки | От комнатной до 300°C (ПИД-контроль ±1°C) | От комнатной до 500°C / 800°C (радиационный/керамический нагреватель, ±0.5°C) |
| Мониторинг толщины пленки | Одинарный/двойной кварцевый монитор (разрешение 0.1 Å) | Многоканальный QCM с автоматическим контролем скорости и калибровкой |
| Архитектура вакуумной откачки | Молекулярный турбонасос + роторно-пластинчатый / сухой спиральный насос | Высокоскоростной турбонасос на магнитном подвесе + безмасляный спиральный форвакуумный насос |
| Размеры шлюза перчаточного бокса | Основной: Φ360 мм × L600 мм; Малый: Φ150 мм × L300 мм | Основной: Φ400 мм × L600 мм; Малый: Φ150 мм × L330 мм с автовакуумом |
| Совместимость питания | 220В AC / 380В AC, 3 фазы, 50/60 Гц | 380В AC, 3 фазы, 50/60 Гц, 15–25 кВт |
| Архитектура управления | Центральный ПЛК + промышленный цветной сенсорный HMI | Интегрированная система ПК / ПЛК с регистрацией данных и управлением рецептами |
Почему стоит выбрать этот продукт
- Интегрированная непрерывность процесса: Размещение всего рабочего процесса роста тонких пленок, подготовки подложек и инкапсуляции внутри единой сверхчистой оболочки исключает окисление и дефекты частиц, вызванные переносом, что значительно повышает выход годных устройств.
- Прецизионная инженерия и равномерность пленки: Спроектированные ступени подложек, оптимизированные расстояния от источника до подложки и прецизионные кварцевые контроллеры скорости обеспечивают суб-ангстремный контроль осаждения, гарантируя исключительную воспроизводимость от партии к партии.
- Универсальные возможности работы с материалами: Поддерживает широкий спектр классов материалов — от чувствительных органических молекул и легкоплавких металлов до тугоплавких мишеней, прозрачных оксидов и функциональных диэлектриков — в конфигурациях термического испарения и распыления.
- Надежная архитектура безопасности и блокировок: Построена с многоуровневыми аппаратными и программными блокировками, охватывающими уровни вакуума, поток водяного охлаждения, избыточное давление газа и температуру нагревателей для защиты как пользователя, так и ценных исследовательских подложек.
- Настраиваемая модульная архитектура: Платформа предлагает адаптируемые размеры перчаточного бокса, комбинации нескольких напылительных головок, индивидуальные приспособления для маскирования подложек и встроенные инструменты для измерений in-situ, адаптированные к конкретным исследовательским программам.
Свяжитесь с нашей командой технических инженеров сегодня, чтобы сконфигурировать индивидуальную систему вакуумного напыления, интегрированную с перчаточным боксом, оптимизированную для ваших конкретных требований к исследованиям тонких пленок и оптоэлектроники.
Нам доверяют лидеры отрасли
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Вакуумная машина для предварительной герметизации и запайки верхней стороны
Вакуумная машина для предварительной герметизации и запайки верхней стороны для упаковки аккумуляторов с регулируемым временем запайки, точным контролем температуры, работой при высоком вакууме и надежной производительностью лабораторного уровня для стабильной обработки пакетных ячеек и эффективных рабочих процессов в перчаточных боксах в требовательных исследовательских средах.
Автоматическая машина для герметизации цилиндрических аккумуляторов, совместимая с перчаточным боксом
Автоматическая машина для герметизации цилиндрических аккумуляторов для работы в перчаточном боксе, трехступенчатая герметизация, точное формование, высокая герметичность, высокая стабильность и надежное производство ячеек 18650 и 21700 с управлением через ПЛК с сенсорным экраном, регулируемыми параметрами, компактной конструкцией и эффективной автоматической загрузкой и выгрузкой
Интегрированная установка для вакуумного наполнения и пропитки электролитом
Интегрированная установка для вакуумного наполнения и пропитки электролитом обеспечивает точность дозирования ±0,5% для цилиндрических, дисковых и пакетных аккумуляторных ячеек, объединяя программируемый вакуум, наполнение инертным газом и контролируемую выдержку для улучшения стабильности поглощения электролита в передовых процессах производства аккумуляторов и лабораторных исследований.
Малогабаритная лабораторная автоматическая установка для нанесения и сушки пленок
Малогабаритная лабораторная автоматическая установка для нанесения и сушки пленок с регулируемой скоростью нанесения, прецизионным контролем толщины, вакуумной фиксацией подложки и нагревом до 130°C. Предназначена для исследований в области аккумуляторов, керамики, кристаллов и нанопленок, а также для работы в перчаточных боксах и лабораториях перспективных материалов для обеспечения стабильного высокотемпературного формирования пленок.
Интегрированная машина для вакуумного дозирования электролита, выдержки и предварительной сварки
Интегрированное оборудование для вакуумного дозирования электролита, выдержки и предварительной сварки горячим прессом обеспечивает точную дозировку, регулируемый контроль процесса, надежную герметизацию краев пакетных ячеек и стабильные результаты при производстве аккумуляторных конденсаторов в лабораторных условиях.
Ультразвуковой аппарат для сварки металлов для использования в перчаточном боксе
Ультразвуковой аппарат для сварки металлов для использования в перчаточном боксе поддерживает сварку алюминиевой фольги и никелево-медных ленточных выводов с мощностью 800 Вт и частотой 40 кГц, обеспечивая точную зону сварки 4 x 4 мм и контролируемые требования к инженерным сетям для рабочих процессов сборки в лабораториях по исследованию аккумуляторов при заданных условиях сжатого воздуха.
Ультразвуковой аппарат для сварки металлов для использования в перчаточном боксе
Ультразвуковой аппарат для сварки металлов для использования в перчаточном боксе поддерживает сварку алюминиевой ленты толщиной 0,1 мм с крышкой аккумулятора, площадь сварки 1,5 x 3 мм, питание 220 В, настраиваемая оснастка для сборки крышек аккумуляторных элементов в контролируемых лабораторных условиях, двуязычное программное обеспечение управления.
Интегрированная машина для вакуумного дозирования электролита, выдержки и предварительной герметизации аккумуляторов и конденсаторов
Интегрированная машина для вакуумного дозирования электролита, выдержки и предварительной герметизации аккумуляторов и конденсаторов обеспечивает точное дозирование, стабильную абсорбцию, регулируемую термогерметизацию и надежность лабораторного производства. Оснащена ПЛК с сенсорным экраном, коррозионностойкой конструкцией и гибкими параметрами процесса для передовых исследований ячеек.
Ультразвуковой аппарат для сварки металлов для использования в перчаточном боксе, сварка крышек аккумуляторных батарей
Ультразвуковой аппарат для сварки металлов для использования в перчаточном боксе, работающий от сети 220 В, с подачей воздуха 0,4–0,6 МПа, метрической системой управления и настраиваемой сварочной оснасткой для исследований аккумуляторов и лабораторий передовых материалов, требующих компактного и воспроизводимого качества соединения металлов в контролируемых лабораторных условиях.
Автоматическая машина для нанесения и сушки пленочных покрытий
Автоматическая машина для нанесения и сушки пленочных покрытий для аккумуляторных электродов и передовых материалов, оснащенная вакуумной фиксацией, регулируемой скоростью нанесения, прецизионным контролем толщины и равномерным нагревом для надежных лабораторных исследований, воспроизводимых процессов высокотемпературного получения тонких пленок и контролируемой разработки
Машина для вторичной вакуумной герметизации пакетных аккумуляторов с автоматическим проколом
Машина для вторичной вакуумной герметизации пакетных аккумуляторов с автоматическим проколом, регулируемой температурой, давлением, временем запайки, компактной конструкцией и точными характеристиками упаковки аккумуляторов
Лабораторная вакуумная камера для выдержки аккумуляторов после заливки электролита
Лабораторная вакуумная камера для выдержки аккумуляторов способствует поглощению электролита в пакетных и цилиндрических элементах, используя стабильный глубокий вакуум, программируемый циклический режим работы, регулируемое время выдержки и компактную конструкцию с выносным блоком управления для гибких исследовательских процессов и задач подготовки аккумуляторов на пилотных линиях.
Вертикальная установка для нанесения покрытий погружением с постоянной температурой
Вертикальная установка для нанесения покрытий погружением с постоянной температурой обеспечивает программируемое прецизионное извлечение, контролируемое погружение и сушку для равномерного роста тонких пленок в жидкой фазе. Предназначена для исследовательских лабораторий, разработки материалов и оптимизации процессов; оснащена ПЛК-управлением, сенсорным экраном и встроенным сушильным шкафом.
Вакуумная машина для выдержки, предварительной и боковой герметизации пакетированных и цилиндрических аккумуляторов «два в одном»
Вакуумная машина для выдержки, предварительной и боковой герметизации, предназначенная для заливки электролита в пакетированные и цилиндрические аккумуляторы, вакуумной термозапайки, с регулируемым давлением, температурой, временем выдержки, ПЛК-управлением с сенсорным экраном и совместимостью с перчаточными боксами для обеспечения стабильных рабочих процессов при сборке лабораторных аккумуляторов и пилотном производстве.
Интегрированная машина для вакуумного заполнения электролитом и выдержки аккумуляторных и конденсаторных ячеек
Интегрированная машина для вакуумного заполнения электролитом и выдержки при производстве аккумуляторов и конденсаторов. Обеспечивает регулируемый вакуум, точную дозировку, равномерное впитывание, коррозионностойкую конструкцию, управление через сенсорный PLC-экран и надежную работу в перчаточных боксах или сухих помещениях для сложных исследовательских и пилотных производственных задач.
400-мм машина для непрерывного и прерывистого щелевого нанесения покрытия
400-мм машина для непрерывного и прерывистого щелевого нанесения покрытия для точного нанесения активного материала электродов литий-ионных аккумуляторов с электрической сушкой, контролируемой подачей полотна и настраиваемым экструзионным нанесением для производства катодов и анодов.
Установка «три в одном» для выдержки, предварительной и вторичной герметизации
Оборудование «три в одном» для выдержки, предварительной и вторичной герметизации объединяет функции вакуумного поглощения электролита, контролируемого горячего прессования и повторяемой упаковки пакетных аккумуляторов, обеспечивая надежные рабочие процессы производства ячеек в лабораторных пилотных линиях и исследовательских средах с регулируемым давлением и температурой.
Установка для вторичной вакуумной финишной герметизации пакетных ячеек (Pouch Cell)
Улучшите процесс финишной обработки пакетных ячеек с помощью установки для вторичной вакуумной герметизации, оснащенной функцией автоматического прокола, регулируемым давлением термозапайки, точным контролем температуры и гибкими настройками для надежной упаковки аккумуляторов в прочном корпусе камеры.
Установка для окунания с постоянной температурой
Установка для окунания с постоянной температурой обеспечивает программируемую скорость извлечения, контролируемый нагрев, а также циклы погружения и сушки с заданным временем для воспроизводимого нанесения тонкопленочных покрытий на компактные образцы в исследованиях аккумуляторов, материаловедении, керамических лабораториях и академических процессах разработки покрытий с последовательным контролем параметров.
Машина для щелевой экструзионной заливки (Slot Die) для рулонного нанесения покрытий на электроды
Машина для щелевой экструзионной заливки обеспечивает бесконтактное рулонное нанесение покрытий на электроды с помощью прецизионного шприцевого дозатора, контролируемой инфракрасной сушки и компактной конструкции, готовой к работе в перчаточном боксе. Идеально подходит для твердотельных аккумуляторов, функциональных пленок и лабораторных разработок, где важны повторяемость покрытия, контроль движения полотна и равномерность температуры.